W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的影响

2022-12-26 12:29:23 文档大全网 [ 字体：小中大 ] [ 阅读： ]

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W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的

影响

王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;康志成

【期刊名称】《高压物理学报》【年(卷),期】2004(018)001

【摘要】在微波等离子体化学气相沉积装置中,采用负偏压形核等方法,研究两种不同的W过渡层/基体结合界面对金刚石薄膜与WC-6%Co附着力的影响.采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、高偏压碳化等方法,在YG6衬底表面形成化学反应型界面,W膜在碳化时和基体WC连为一体,极大地增加了W膜与基体的附着力,明显优于直接镀钨、碳化形成的物理吸附界面.在高负偏压下碳化,能提高表面粗糙度,增加膜与基体机械钳合,而负偏压形核增加核密度,从而增加膜与基体的接触面积,结果极大地提高了金刚石薄膜的附着力. 【总页数】7页(P83-89)

【作者】王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;康志成

【作者单位】武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031

【正文语种】中文【中图分类】O484;TB43 【相关文献】

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