微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒

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微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒

古宏晨;胡黎明

【期刊名称】《华东理工大学学报:社会科学版》 【年(),期】1994(000)002

【摘 要】热力学计算表明,H_2、N_2的过量有助于提高TiN的产率,但能耗也相应增加。为此考察了温度、流量、TiCl_4携带量、混合方式对产物性能的影响。结果表明,流量增加、温度升高、TiCl_4携带量增加、混合愈好,则产物粒径愈小。在此基础上采用微波等离子体化学气相沉积法,合成了粒径为123~284nm的TiN超细颗粒。 【总页数】4(P141-144) 【作 者】古宏晨;胡黎明

【作者单位】华东理工大学技术化学物理研究 【正文语种】 【中图分类】TQ134.11 【相关文献】

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4.微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒 [J], 胡宏晨;胡黎明 5.微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管 [J], 王升高;汪建华;秦勇

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