微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒

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微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒

古宏晨;胡黎明

【期刊名称】《华东理工大学学报：社会科学版》 【年(卷),期】1994(000)002

【摘 要】热力学计算表明，Ｈ＿２、Ｎ＿２的过量有助于提高ＴｉＮ的产率，但能耗也相应增加。为此考察了温度、流量、ＴｉＣｌ＿４携带量、混合方式对产物性能的影响。结果表明，流量增加、温度升高、ＴｉＣｌ＿４携带量增加、混合愈好，则产物粒径愈小。在此基础上采用微波等离子体化学气相沉积法，合成了粒径为１２３～２８４ｎｍ的ＴｉＮ超细颗粒。 【总页数】4页(P141-144) 【作 者】古宏晨;胡黎明

【作者单位】华东理工大学技术化学物理研究所 【正文语种】中 文 【中图分类】TQ134.11 【相关文献】

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