乙硅烷的制备

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乙硅烷的制备

余京松;沃银花

【期刊名称】《低温与特气》 【年(卷),期】2013(031)001

【摘 要】概述了乙硅烷的制备方法并对各种方法进行了评价. 【总页数】2页(P39-40) 【作 者】余京松;沃银花

【作者单位】浙江大学半导体材料研究所,浙江杭州310027;浙江大学半导体材料研究所,浙江杭州310027 【正文语种】中 文 【中图分类】TQ117 【相关文献】

1.二甲基二乙氧硅烷—甲基三乙氧基硅烷二元体系等压汽液平衡研究 [J], 陈华龙;范瑞开;黄春芳;

2.二甲基二乙氧硅烷-甲基三乙氧基硅烷二元体系等压汽液平衡研究 [J], 陈华龙;范瑞开;黄春芳

3.二甲基二乙氧硅烷-甲基三乙氧基硅烷二元体系等压汽液平衡研究 [J], 陈华龙;范瑞开;黄春芳

4.六氯乙硅烷的制备工艺研究进展 [J], 杨典;赵雄;万烨;孙强;郭树虎;王芳;裴蕾 5.1,2-二乙炔基四苯基乙硅烷与1,2-二乙炔基四甲基乙硅烷的共聚及其光解 [J], 洪仁芳;石川满夫


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