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一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法
沈晓春;刘利;周飞
【期刊名称】《科技风》 【年(卷),期】2013(000)012
【摘 要】本文介绍了一种MEMS芯片的压力传感器的标定和补偿方法，分析了传感器的结构原理和常见补偿方式，详述了采用的标定和补偿方法，并通过实验进行了验证，证明该方法是一种简便有效的方法，能够被广泛使用。% This article focuses on the MEMS pressure sensor's calibration and temperature compensation,introduces sensor's structure principle and
compensationmethods,getsaneffectivesolutiontotemperaturedrift.Thissolutionhasbeenverifiedthroughexperimentsandbeenconsideredasanef-fectivesimplemethodcanbewidelyused. 【总页数】2页(P34-35) 【作 者】沈晓春;刘利;周飞
【作者单位】上海交通大学机械与动力学院，上海市 200240;上海交通大学机械与动力学院，上海市 200240;无锡市海鹰传感器公司，江苏无锡 214061 【正文语种】中 文 【相关文献】
1.一种压阻式压力传感器的温度补偿方法 [J], 李冀;胡国清;周永宏;邹崇;吴翩卉 2.压力传感器温度补偿的一种新方法 [J], 孙艳梅;刘树东 3.一种压力传感器温度补偿新方法 [J], 陈萍;陈黎黎
4.硅压阻式压力传感器的一种温度补偿方法及其应用 [J], 袁智荣;王文襄 5.一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法 [J], 田青林;陈红亮;陈洪敏;李粮;闫文吉
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本文来源：https://www.wddqxz.cn/897ca86a84c24028915f804d2b160b4e777f811b.html
2022-12-12
