常用日语单词

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コンプレッサー デイリーチェック MGコントロール データ メニュー

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模式选择 ボタンガ

キーボード 端口

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ボバルブ 停止装置 サー

cassette 栏子

レシピ recipe チェツク check ストッパー ディテクター メンテナンス ダウン

クリーンアップ cleanup 清除整理 ステータス

stopper detector down shutter breaker

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interlock process position sensor gas pause operator copy start pin cryo trouble susceptor

检波器 モニタ 向下

モーター

maintenance 维修模式 ガラス

ディスペンス dispense 配药配方 ドライバー シャッター

热板围框 エラー

マニュアル manual チラー ブレーカー アラーム ブザー

用手操作 タイム

ク 冷却装置 ワー

断路器

警报 蜂鸣器

モード イオン エキゾースト

メインメニユー main menu ヒーター バキューム インターロック プロセス ポジション センサー ガス ポーズ オペレーター コピー

ロスト 主菜单

加热器 テンペラチャーレジスト 真空

联锁装置 エンプティー

lost 丢失

temperature 温度 radist empty buffertank pump] overflow save parameter system spin up developer coater scan monitoring Panel

光刻胶 空的 缓冲罐

泵，抽水机 溢出 保存 参数 系统 旋转 向上 显像液 涂布 扫描 监视 面板

程序 位置 传感器 暂停 考贝 要求

バッファタンク ポンプ オーバーフロー

ブ 煤气毒气 セー

パラメータ

操作人员 システム

スピン アップ

リクエスト request スタート ピン クライオ トラブル ターグット サセプグー

开始 デべロッパータ 别住别针 コー

低温 タイトラー Titiler 打 号机

故障干扰 スキャン 基座

パネル

target 目标对象 モニタリンゲ






コマンド command命令指令 オペランド operand操作数 オプション option选项 ハードコピー hard copy严格 コンソール console 控制台

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