非接触表面粗糙度测量仪

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非接触表面粗糙度测量仪

童敏;曹树平

【期刊名称】《计量与测试技术》 【年(卷),期】1998(025)006

【摘 要】本文介绍了一种以半导体激光器作为光源，ＣＣＤ作为接收器件的光探针表在粗糙度测量仪，对仪器的测量原理，仪器的结构进行了讨论，用该仪器对标准样品进行了实际测量，得到了与实际相符的结果。 【总页数】4页(P5-8) 【作 者】童敏;曹树平

【作者单位】华中理工大学机械学院;华中理工大学机械学院 【正文语种】中 文 【中图分类】TG83 【相关文献】

1.非接触表面轮廓测量仪的研制 [J], 邹华东;孙艳玲;谢铁邦

2.基于聚焦探测法的非接触表面形貌测量仪的研究 [J], 孙艳玲;谢铁邦 3.非接触高准确度表面粗糙度测量仪 [J], 尤政;于明江 4.非接触表面形貌纳米测量仪 [J],

5.非接触表面粗糙度测量技术 [J], 刘笑明;单圭庆

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