半导体气体传感器敏感机理的研究进展

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半导体气体传感器敏感机理的研究进展

徐甲强;韩建军;孙雨安;谢冰

【期刊名称】《传感器与微系统》【年(卷),期】2006(25)11

【摘要】为了改进半导体气体传感器的选择性,研究人员利用四极质谱仪、气相色谱、阻抗测试、XPS等检测手段对半导体气体传感器的乙醇、硫化氢、氯气、一氧化碳、氢气、含氮化合物和有机烷烃等常见检测气体的敏感机理进行了研究,取得了一些进展.对研究所得结论和理论模型进行了概述,并提出了今后的研究方向. 【总页数】4页(P5-8)

【作者】徐甲强;韩建军;孙雨安;谢冰

【作者单位】郑州轻工业学院,材料与化学工程学院,河南,郑州,450002;郑州轻工业学院,材料与化学工程学院,河南,郑州,450002;郑州轻工业学院,材料与化学工程学院,河南,郑州,450002;郑州轻工业学院,材料与化学工程学院,河南,郑州,450002 【正文语种】中文【中图分类】TP212.2 【相关文献】

1.气体摆式倾角传感器敏感机理的有限元分析 [J], 朴林华;林宇;张伟;张福学 2.覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析 [J], 谢晓;王文;刘明华;何世堂

3.半导体气体传感器敏感薄膜结构的改进与分析 [J], 杜玉帅;蒋志立

4.二氧化锡气体传感器敏感机理的研究 [J], 席彩红;高晓平;刘国汉

5.VOCs传感器敏感膜材料及敏感机理研究进展 [J], 沈小群; 陈李; 李顺波; 徐溢

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