特气系统安全操作规范

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特气系统安全操作规范

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1. 目的 Purpose

1.1 本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统

稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。 2. 管制范围 Scope

2.1 本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。 3. 管理职责 Responsibility 3.1 厂务单位最高主管

3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。 3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等。 3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识。 3.2 厂务单位主管

3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。 3.2.2 维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。 3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。 3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果 3.3 厂务系统工程师:

3.3.1 负责特气供应系统之正常运转及改良维护。





3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。 3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。 3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。 3.4 厂务轮班工程师:

3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。 3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。 3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。





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3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。

4. 定义 Definition

4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。 5. 作业内容 Procedure 5.1 日常记录与报告要求

5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。 5.1.2统计气体，每日/周/月用量。

5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。 5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的校正记录。 5.1.5提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。 5.2日常运转事项

5.2.1气体钢瓶的更换（含硅烷、氢气站，特气房内）。

5.2.2 N2 Yard(大宗气体气站：N2) 灌充作业前、后系统及压力，液位确认检查 5.2.3特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的定期校正。

5.2.4紧急应变：包括Trouble-shooting，报警故障处理，紧急事故反映及处理。 6. 表单 Form

特气系统点检表

序号

项目



1 2 3 4 5 6 7 8



检查设备、房间排风是否正常？

检查门锁、窗锁是否正常？ 检查设备外观是否正常？

YES

情况记录 NO

其它

REMARK





危险标识是否剥落？ 阀件编号是否有误？

巡视管道状况、标签是否脱落 确认N2吹扫盘是否正常？ 确认CDA、GN2供应压力是否正





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常？

检查PIG TAIL是否被损坏或污

9 10

染？

检查加热系统是否正常









Local Scrubber 检查保养计划表

检查、保养频率

检查、保养项目

每天 每周 双周 每月 每季 每年

检查主电源(Main power)电压 检查加热器#1, #2 的温度

检查氮气、流量 检查注入、排气压力 确认错误(Error)状态 检查传感器High，Low状态 检查指示灯工作状态

○ ○ ○ △ △ ○ ○

△







☆ ☆ ☆

检查各导管有无粉尘堆积 压力计是否需更换 检查是否需更换传感器、控制器



检查是否需更换继电器、风扇



备注： “○”：值班技术人员可以单独进行维护操作

“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护 “☆”：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维

护



Sensor 检查保养表





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检查、保养频率

检查、保养项目

每天 每周 双周 每月

每半年

通过监视屏幕观察Sensor的状态

每年

○







△

☆ ☆ ☆

更换Sensor 检查吸气泵是否故障

检查热裂解模块是否故障 检查模/数转换模块是否故障

备注： “○”：值班技术人员可以单独进行维护操作

“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护 “☆”：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维

护





气瓶柜/架检查保养计划

检查、保养频率

检查、保养项目







每天 每周 双周 每月

每半年

○

○





○ ○ ○

每年

检查气瓶的压力、重量

检查设备、房间排风是否正常 检查门锁、窗锁是否正常

检查外观是否正常 危险标识是否剥落





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设备标识是否剥落 阀件编号是否有误 巡视管道状况、标签是否脱落









○ ○ ○

☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆

确认所有气动阀、手动阀、调压阀

是否正常

确认CDA、GN2供应压力是否正常

确认N2吹扫盘是否正常 压力传感器和真空传感器校正 察看PIG TAIL是否被损坏或污染 核检故障报警装置是否正常 核检关机报警装置是否正常 检查加热系统是否正常

核检左右供气自动切换装置是否正常

仪表校正

备注： “○”：值班技术人员可以单独进行维护操作

“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护



“☆”：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维







VMB/VMP维修保养计划表

检查、保养频率

检查、保养项目

每天 每周 双周 每月

每

每年

护





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半年

检查设备排风是否正常 检查门锁、窗锁是否正常



○





○ ○ ○ ○ ○ ○

☆ ☆ ☆ ☆ ☆

检查外观是否正常 危险标识是否剥落

设备标识是否剥落 阀件编号是否有误 巡视管道状况、标签是否脱落

确认所有气动阀、手动阀、调压阀

是否正常

确认CDA、GN2供应压力是否正常

确认N2吹扫盘是否正常 核检故障报警装置是否正常 核检关机报警装置是否正常

备注： “○”：值班技术人员可以单独进行维护操作

“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护



护





7. 参考文件 Reference Document 7.1 无

8. 作业流程 Flow Chart

“☆”：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维







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8.1 Ar 供气流程

Ar Rack 供气流程

Step. 1 2 3 4 5 6 注意：

Content.

先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。

慢慢打开HPV1或2，将剩余Ar排出去，然后关闭HPV1或2。 分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。

然后打开新钢瓶阀门，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后关闭HPV1或2。

关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试。 保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择stand by.

1.在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都打开，不要关闭。 2.Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。

8.2 PN2 供气流程

N2 Rack 供气流程

Step.

1 2

3 4 5 6 7

Content.

先将全部阀门关闭，并确认钢瓶阀门关闭。

慢慢打开Vent阀门，将剩余N2排出去，然后关闭Vent 阀门



用扳手将旧钢瓶拆下，安装新的钢瓶。

打开钢瓶阀门，然后打开关闭Vent阀门15次进行吹扫，打开时只要一点点点，最后关闭Vent阀门.

然后打开HPI1，再关闭钢瓶阀门，并关闭调压阀，进行保压测试1小时。

保压测试通过后，打开钢瓶阀门，调节调压阀到100psi. 打开LPI可供应P-N2,打开HPI2可供应高压P-N2.

8.3 H2供气流程





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H2 Rack 供气流程

Step. 1 2 3 4 5 6 7 8 注意：

Content.

先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。

慢慢打开HPV1或2，将剩余H2排出去，然后关闭HPV1或2。

打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次进行吹扫。结束后全部关闭。

分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。

然后打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后全部关闭。

打开钢瓶阀门，然后一点点打开HPV1或2,将残留N2排空，然后关闭HPV1或2，

关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试。 保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择stand by.

1.在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都打开，不要关闭。 2.Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。

8.4 全自动气柜和BSGS 供气流程

全自动气柜和BSGS供气流程

Step.

1 2 3 4 5 6

Content.

A 瓶停止供气后，确认A瓶阀门关闭(有Valve shutter者，拆下Valve

PMV1. shutter，然后确认），并关闭

“A select”进入A操作界面，并确认G-N2,CDA,P-N2 供应正常。 选择“ Pre-purge”，输入密码，“Confirm”（可能要点两次），进入

1P(第一次吹扫)，-L(负压测试)，2P(第二次吹扫)

2P结束后，进入钢瓶更换阶段。确认PIV,PGI打开，确认新瓶日期。 分离旧瓶，并用绑带和锁链固定好新钢瓶，然后与CGA连接。 连接好之后，“Confirm”进入“3P”，“+L”,“4P”阶段。





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4P结束后，按“cancel”进入下阶段。按“process Gas flow”，输入密码，

检查HPT，LPT数值，按“Process”，气柜会自动排空内部气体。 如有Valve shutter,然后安装Valve shutter，（把Valve shutter 先套在钢瓶上，拧紧，然后插入气管，然后调整高度，使valve shutter 完全套在钢瓶阀门上）

"confirm"后，关闭调压阀门。 然后打开钢瓶主阀门。

然后打开调压阀门到适当的位置。（BSGS 将要打开两个调节阀门。） PMV1 打开。

“confirm”之后进入“process”或“stand by”。

9. 特气系统异常泄露，紧急处理程序







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气体泄漏紧急应变流程

气体异常泄漏描述及处理流程

可能出现特气间侦测器浓度值报警推动一，二段警报并出现相关联动

造成原因分析：1，气体真实泄漏 2，被其它气体干扰或者电流干扰

气体真实泄漏

1.如出现一段报警，值班人员通过中控室报警特气种类SCADA曲线，初步判断是否真实泄漏，并立即通知特气及厂务负责人。

2.联系厂务特气负责人员，询问是否在进行特气换钢瓶动作。并通过CCTV查看特气间有无人员施工或异样。3.如一段报警值已逐渐下降，并恢复正常。即通知特气及厂务负责人及设施部经理，告知为可能干扰误动作，并查看供气设备是否正常供气。

4.如报警等级上升至二段，特气人员会同抢修人员穿戴SCBA 及防护用品，并携带便携式侦测器赶去现场确认侦测器是否正常工作。

5.如确认为真实泄露报警，立即通知设施部经理，要马上关断气源停止供气，设备部马上启动相应措施，并由 ERC决定是否需要通知全厂疏散。

6，抢修人员立即按下报警特气之紧急按钮并马上关断钢瓶

7，待警报消除，解除紧急按钮，马上对气柜进行测漏，检修

8，处理完毕后查看相关供气设备运行情况并恢复供气，观察气柜是否正常送气。



9.正常后通知设施部经理可恢复正常生产，并通知全厂



人员异常已排除，可恢复正常工作。AGS OP 751 0065 2009 Confidential 10 | Page 9/21/2009

厂务人员要对误报侦测器进行

测试，保持侦测正常。






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10.附件 Attachment 无 1.

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